证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种低温刻蚀的方法及装置”，专利申请号为CN202010345284.3，授权日为2024年11月8日。
专利摘要：本发明公开了一种基片的低温刻蚀方法，所述基片包括介质材料，所述方法包括：a)将基片放置在一腔体的基座上，所述基座包括其中具有流动的冷却剂的冷却通道，b)通过冷却剂将基片冷却到一冷却温度，所述冷却温度小于等于?20℃，c)向所述腔体通入刻蚀气体以生产等离子体，刻蚀基片的介质材料，所述刻蚀气体包括卤素族单质或其化合物气体。本发明还公开了一种使用上述方法的刻蚀装置。
今年以来中微公司新获得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成，不构成投资建议。
首页
微信公众号
证券之星APP
