中微公司获得实用新型专利授权：“一种气体供给装置及成膜装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气体供给装置及成膜装置”，专利申请号为CN202322832005.8，授权日为2024年11月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体供给装置及成膜装置，所述气体供给装置包括：底座；进气顶盖，其设置在底座的顶端上；水冷板，其设置在底座上；第一分区环组，其设置在气体分隔板上。第二分区环组，其设置在水冷板上。第三分区环组中部分分区环环绕所述第一分区环组，与第一分区环组形成相互独立的上部中心区域空间和第一和第二上部边缘区域空间；第三分区环组中其余分区环环绕第二分区环组，与第二分区环组形成相互独立的下部中心区域空间和第一和第二下部边缘区域空间。第二上/下部边缘区域空间连通并向反应腔内通入围绕反应气体的吹扫气体，本实用新型可以在满足管路结构简单的条件下实现对反应腔内进行分区独立供气，还能降低设备制造成本。

今年以来中微公司新获得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成，不构成投资建议。