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中微公司获得发明专利授权：“一种用于热化学气相沉积的基片托盘和反应器”

来源：证券之星企业动态 2024-11-16 03:33:23

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于热化学气相沉积的基片托盘和反应器”，专利申请号为CN201711086072.2，授权日为2024年11月8日。

专利摘要：本发明提供一种用于热化学气相沉积的基片托盘，包括：中心托盘和边缘环，中心托盘外侧壁上包括一上延伸部，边缘环开口内侧壁上包括一下延伸部，所述上延伸部设置在所述下延伸部上方，使得中心托盘得到边缘环的支撑，所述边缘环底面包括第一区域和第二区域，其中第一区域形状与用于与支撑托盘的支撑桶顶部匹配，实现对基片托盘边缘环的支撑和旋转，第二区域位于所述第一区域外侧，用于与机械臂配合举升并移动所述基片托盘。

今年以来中微公司新获得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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