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芯碁微装获得实用新型专利授权:“一种曝光机前端系统”

来源:证券之星企业动态 2024-11-16 03:28:15
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯碁微装(688630)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种曝光机前端系统”,专利申请号为CN202420615363.5,授权日为2024年11月15日。

专利摘要:本实用新型公开一种曝光机前端系统,包括具有容纳室的外壳主体,所述外壳主体内集成有基材装载模块,所述基材装载模块包括取料单元和收料单元,所述取料单元和收料单元间隔分布在所述外壳主体内部同侧;基材预对准模块,所述基材预对准模块位于所述取料单元和收料单元之间;以及基材输送模块,所述基材输送模块与所述基材装载模块相对设置,所述基材输送模块包括基材搬运机构,所述基材搬运机构可沿既定的轨迹及距离进行运动,使基材在所述取料单元、基材预对准模块以及收料单元之间传递运输。实现面板基材的取料、收料、输送、预对准及搬运的一体化;且一次性取放两片基材进行曝光作业,提高了整体的生产效率。

今年以来芯碁微装新获得专利授权31个,较去年同期减少了6.06%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4893.46万元,同比增25.95%。

数据来源:天眼查APP

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