晶盛机电获得发明专利授权：“抛光垫布设装置及布设方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“抛光垫布设装置及布设方法”，专利申请号为CN202410992928.6，授权日为2024年11月1日。

专利摘要：本发明提供了一种抛光垫布设装置及布设方法，属于晶片抛光技术领域，解决了现有技术抛光垫与抛光盘之间的气泡不易处理的问题。本发明包括：抛光盘，抛光盘上设有布设区，所述布设区用于布设抛光垫，所述布设区包括：导热层，导热层与所述抛光盘相接，用于与所述抛光垫传递热量；检测层，所述检测层设置于所述导热层上，用于接受检测；温度调控组件，温度调控组件设置于所述布设区一侧，温度调控组件具有制热面，所述制热面作用于所述导热层；视觉检测组件，所述视觉检测组件设置于所述布设区上方，且视觉检测组件具有检测端，所述检测端朝向所述检测层，以获取所述检测层上表面的图像信息。本发明通过主动使气泡膨胀而更容易检测和脱离。

今年以来晶盛机电新获得专利授权110个，较去年同期减少了30.38%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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