证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种压力传感器及其制造方法”，专利申请号为CN202411159728.9，授权日为2024年11月15日。
专利摘要：本发明的公开了一种压力传感器及其制造方法，其中制造方法包括：在衬底的一侧表面形成重掺杂区域，在重掺杂区域刻蚀多个孔，相邻的孔之间具有柱状凸部，在柱状凸部和重掺杂区域之间形成空腔，在重掺杂区域所在的衬底的一侧表面制作外延结构，在外延结构上制作第一环槽并填充第一环槽，制作绝缘结构，制作电连接结构。位于第一环槽内的外延结构形成压力传感器的可动极板，位于重掺杂区域中且与可动极板相对的衬底形成压力传感器的固定极板。本申请通过在衬底的一侧表面制作重掺杂区域，并在重掺杂区域刻蚀多个孔，相较于利用牺牲层工艺形成可变电容和利用键合工艺制造可变电容，本申请工艺简单，且成本较低。
今年以来敏芯股份新获得专利授权52个，较去年同期减少了20%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。
数据来源：天眼查APP
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