芯源微获得发明专利授权：“晶圆搬运装置及晶圆搬运方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆搬运装置及晶圆搬运方法”，专利申请号为CN202110997889.5，授权日为2024年9月17日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆搬运装置，包括外侧壁均设置有取送导向结构的第一支撑机构和第二支撑机构；还包括第一取送机构和第二取送机构，分别活动设置于所述第一支撑机构的取送导向结构和所述第二支撑机构的取送导向结构；所述第一取送机构和所述第二取送机构均包括朝向相反的末端执行部；还包括旋转机构和旋转驱动部，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构固定设置于所述旋转机构，所述旋转驱动部驱动旋转机构作旋转运动，进而带动所述第一支撑机构和所述第二支撑机构的至少一个同步旋转，能够扩展晶圆的取送范围，有利于提高产能。本发明还提供了一种晶圆搬运方法。

今年以来芯源微新获得专利授权28个，较去年同期增加了3.7%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。