证券之星消息,根据天眼查APP数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“磁控溅射设备”,专利申请号为CN202420095864.5,授权日为2024年9月17日。
专利摘要:本申请涉及一种磁控溅射设备,包括:溅射腔室、位于溅射腔室内且相对设置的基片台和溅射阴极。磁控溅射设备还包括位于溅射腔室内且相对设置的第一对向靶阴极和第二对向靶阴极,以及设置于第一对向靶阴极的第一磁控组件和设置于第二对向靶阴极的第二磁控组件,第一磁控组件和第二磁控组件用于在基片台和溅射阴极之间形成磁场。上述磁控溅射设备能够增加粒子的离化率,进而提升镀膜的膜层性能。
今年以来迈为股份新获得专利授权72个,较去年同期增加了46.94%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.19亿元,同比增47.24%。
数据来源:天眼查APP
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