微导纳米获得发明专利授权：“ALD喷淋组件及ALD镀膜设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“ALD喷淋组件及ALD镀膜设备”，专利申请号为CN202110317891.3，授权日为2024年9月17日。

专利摘要：本发明涉及一种ALD喷淋组件，包括基板、盖板及第一进气件。盖板密封连接于基板且覆盖开口，待加工件放置于反应腔内，反应气体从第一进气孔进入进气腔后，进气腔会提供给反应气体一个缓冲空间，经过进气腔缓冲后的气体分布更加均匀。同时，从第一出气口排出的反应气体通过多个第一连通孔进入反应腔，进一步地提高了进入反应腔内的反应气体的均匀性，从而确保了反应腔内的反应气体与待加工件之间的接触更加均匀，使得最终反应气体在待加工件上生成的薄膜更加均匀，提高了薄膜的质量。本发明还涉及一种ALD镀膜设备。

今年以来微导纳米新获得专利授权37个，较去年同期增加了270%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。