芯碁微装获得实用新型专利授权：“一种玻璃基板在线曝光吸附平台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种玻璃基板在线曝光吸附平台”，专利申请号为CN202322818511.1，授权日为2024年9月13日。

专利摘要：本实用新型公开了一种玻璃基板在线曝光吸附平台，属于玻璃基板曝光技术领域，包括吸盘组件、曝光单元、Z轴组件和固定设置的滚轮输送组件，所述吸盘组件包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘；曝光单元设置在所述吸盘组件的上方；Z轴组件用于驱动所述吸盘组件升降；所述滚轮输送组件包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮；所述Z轴组件驱动所述吸盘升高至高位时，所述输送滚轮顶端的高度低于所述吸盘上表面的高度，所述Z轴组件驱动所述吸盘下降至低位时，所述输送滚轮顶端的高度高于所述吸盘上表面的高度。本实用新型一方面，降低了实际的曝光成本，另一方面，可以节省曝光设备的占地空间，同时也能很好地融入到玻璃基板的生产线内。

今年以来芯碁微装新获得专利授权26个，较去年同期增加了13.04%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。

数据来源：天眼查APP

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