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中科飞测获得实用新型专利授权:“一种双焦面成像系统以及多向分束器”

来源:证券之星企业动态 2024-09-11 02:36:14
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种双焦面成像系统以及多向分束器”,专利申请号为CN202323614609.1,授权日为2024年9月10日。

专利摘要:一种双焦面成像系统以及多向分束器,双焦面成像系统,包括:照明模块,被配置为向待测件提供照明光束,照明光束在待测件表面形成为信号光束;物镜组件,被配置为接收信号光束,以及光学聚焦于第二待测层;分光组件,设于物镜组件的出射光路,被配置为将信号光束进行分束,形成向第一方向传输的第一光束以及向第二方向传输的第二光束;第一成像模块,被配置为在第一方向上接收第一光束,以及通过调焦处理光学聚焦于第一待测层,第一光束被用于对第一待测层进行成像;第二成像模块,被配置为在第二方向上接收第二光束,第二光束被用于对第二待测层进行成像。本申请可以提高对两个待测层的检测效率。

今年以来中科飞测新获得专利授权104个,较去年同期增加了7.22%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.07亿元,同比增114.22%。

数据来源:天眼查APP

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