中科飞测获得发明专利授权：“识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“识别方法、识别装置、半导体处理设备及可读存储介质”，专利申请号为CN202110697412.5，授权日为2024年9月10日。

专利摘要：本申请公开了一种识别方法。识别方法用于识别特征图案阵列的偏转角度，每个特征图案包括位置已知的特征点，识别方法包括：选取一个特征点作为第一基准点；搜索与第一基准点共线的一个或多个特征点作为拟合点；拟合第一基准点与拟合点，以得到沿第一方向延伸的第一基准线；基于第一基准线识别特征图案阵列的偏转角度。本申请还公开了一种识别装置、半导体处理设备及计算机可读存储介质。通过在已知位置的特征点中选取第一基准点，并拟合第一基准点与一个或多个拟合点，以得到第一基准线，第一基准线反映了特征图案阵列的偏转角度信息，依据第一基准线可以识别到特征图案阵列的偏转角度。

今年以来中科飞测新获得专利授权104个，较去年同期增加了7.22%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.07亿元，同比增114.22%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成，不构成投资建议。