证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体处理设备”，专利申请号为CN202311310856.4，授权日为2024年9月6日。
专利摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种包含射频系统的半导体处理设备。本发明提供了一种半导体处理设备，至少包括反应腔室、射频接收极、射频发射极：所述射频接收极，设置在反应腔室内的上方；所述射频发射极，设置在反应腔室内的下方，用于向反应腔室上方发射射频功率信号。本发明通过将射频功率从反应腔室底部导入，并采用连接器与匹配器直接相连的方式，实现了待处理基板沉积速率的显著提升，提高了工艺均匀稳定性。
今年以来拓荆科技新获得专利授权24个，较去年同期减少了55.56%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成，不构成投资建议。
首页
微信公众号
证券之星APP
