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芯联集成获得实用新型专利授权:“坩埚位置检测装置”

来源:证券之星企业动态 2024-09-07 02:26:57
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“坩埚位置检测装置”,专利申请号为CN202420183435.3,授权日为2024年9月6日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种坩埚位置检测装置,包括:转动件、机台和检测单元;所述机台的内部用于安装坩埚,所述转动件设置于机台的外部,且被配置为随坩埚转动;所述检测单元设置于所述转动件/和或机台上,用于检测所述转动件的转动位置。上述的坩埚定位装置与现有的机械接触式定位器配合使用,坩埚定位装置于机台外部,可以通过观察坩埚定位装置清楚的获取坩埚实际转动位置,便于实时观测。且配合现有机械侦测技术使用可增加侦测的准确度,规避错误侦测的异常,以提高坩埚定位的可靠性和准确度。

今年以来芯联集成新获得专利授权58个,较去年同期增加了23.4%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元,同比增33.75%。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由智能算法生成,不构成投资建议。

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