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士兰微获得发明专利授权：“MEMS器件及其制造方法”

来源：证券之星企业动态 2024-09-07 02:26:25

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制造方法”，专利申请号为CN201811646106.3，授权日为2024年9月6日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS器件及其制造方法。该制造方法包括：在半导体衬底中形成空腔；在空腔上形成结构层；在结构层中形成至少一个感应电阻；以及经由结构层形成到达空腔的第二开口，其中，结构层与第二开口相邻的部分形成质量块，结构层分别与半导体衬底以及质量块相连的部分形成悬臂，感应电阻位于悬臂中。本申请通过半导体衬底中的空腔上方的结构层形成了质量块和悬臂，从而形成了可动结构，并通过在悬臂中形成感应电阻，以感应悬臂因质量块的活动产生的变化，可以用于制造加速度传感器。

今年以来士兰微新获得专利授权60个，较去年同期减少了9.09%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.87亿元，同比增34.18%。

数据来源：天眼查APP

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