龙图光罩获得发明专利授权：“掩模版位置精度测量方法、装置、设备、介质以及产品”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙图光罩（688721）新获得一项发明专利授权，专利名为“掩模版位置精度测量方法、装置、设备、介质以及产品”，专利申请号为CN202410841312.9，授权日为2024年9月3日。

专利摘要：本申请公开了一种掩模版位置精度测量方法、装置、设备、介质以及产品，涉及半导体技术领域，方法包括：接收掩模版位置精度测量请求；根据所述掩模版位置精度测量请求，通过预先构建的位置精度测量系统对待测量掩模版进行测量，得到测量结果，其中，所述位置精度测量系统基于预设的温度监控平台、定位测量平台以及位置数据最大后验概率MAP构建得到。由此，将接收到的掩模版位置精度测量请求发送到由温度监控平台、定位测量平台以及最大后验概率MAP构建得到的位置精度测量系统进行测量，得到测量结果，提高制版位置的精度以及降低制造过程中多种因素导致的异常影响，提高了掩模版位置精度测量的准确性。

今年以来龙图光罩新获得专利授权6个。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1070.02万元，同比增17.2%。

数据来源：天眼查APP

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