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微导纳米获得实用新型专利授权：“加热处理组件、尾气处理装置和真空镀膜设备”

来源：证券之星企业动态 2024-08-31 02:42:46

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“加热处理组件、尾气处理装置和真空镀膜设备”，专利申请号为CN202322860611.0，授权日为2024年8月30日。

专利摘要：本申请公开了加热处理组件、尾气处理装置和真空镀膜设备。加热处理组件包括端盖、加热件和补气组件，端盖具有相对的外侧和内侧。加热件穿设于端盖，加热件具有位于端盖外侧的连接部和位于端盖内侧的加热部。补气组件穿设于端盖，补气组件具有位于端盖外侧的进气部和位于端盖内侧的出气部。通过上述方式，本申请能够对尾气进行处理，减少其中残余的工艺气体。

今年以来微导纳米新获得专利授权36个，较去年同期增加了260%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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