证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆倒传方法和晶圆后处理系统”，专利申请号为CN202210787940.4，授权日为2024年8月23日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆倒传方法和晶圆后处理系统，其中方法包括：接收倒传指令后，判定晶圆所处位置和机构所处状态；根据预设判定条件和预存倒传逻辑，匹配出最佳倒传逻辑；按照所述最佳倒传逻辑，执行倒传动作。本发明不仅能够有效降低晶圆后处理系统出现异常情况时晶圆废片的风险，并且能够提升系统的智能化程度，提高工作效率，优化用户体验。
今年以来华海清科新获得专利授权26个，较去年同期减少了67.5%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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