芯源微获得发明专利授权：“涂胶显影设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“涂胶显影设备”，专利申请号为CN202010768885.5，授权日为2024年8月23日。

专利摘要：本发明提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块，设置于所述载体块和所述接口块之间，且包括第一液体处理模块以及设置于所述第一液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括四层层叠设置的第一热处理单元，所述第一液体处理模块包括四层层叠设置的第一液体处理单元，所述第二热处理模块包括四层层叠设置的第二热处理单元，且每一个单元均具有一个相适配的机械手。所述涂胶显影设备中，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。

今年以来芯源微新获得专利授权25个，较去年同期增加了4.17%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。