证券之星消息,根据天眼查APP数据显示共达电声(002655)新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS设备及其制备方法、电子设备”,专利申请号为CN201980086980.2,授权日为2024年8月20日。
专利摘要:一种MEMS设备、包括该MEMS设备的电子设备以及该MEMS设备的制备方法,该MEMS设备的薄膜结构(10)包括位于中间区域的具有第一刚性的第一刚性区域(110)和位于边缘区域的具有第二刚性的第二刚性区域(120),第一刚性小于第二刚性,第二刚性区域包括至少一个从薄膜结构(10)表面向外延伸的凸起(122)。MEMS设备的制备方法包括提供基板(210);在基板(210)上形成沟槽(212);提供薄膜结构(10)。该MEMS设备通过增加支撑结构扩孔时的制程裕度,不会因为扩孔误差导致薄膜结构的第一刚性区域(110)的刚性发生实质性变化,从而避免影响MEMS设备的性能。
今年以来共达电声新获得专利授权59个,较去年同期增加了7.27%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2916.68万元,同比增0.04%。
数据来源:天眼查APP
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