龙腾光电获得发明专利授权：“金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙腾光电（688055）新获得一项发明专利授权，专利名为“金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法”，专利申请号为CN202011241267.1，授权日为2024年8月20日。

专利摘要：本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法，该方法包括在栅极绝缘层上形成非晶态的金属氧化物半导体薄膜；形成覆盖金属氧化物半导体薄膜的第二金属层，对第二金属层进行图形化以形成源极/漏极层的图形，其中，第二金属层包括与非晶态的金属氧化物半导体薄膜接触的晶化诱导层；对形成有源极/漏极层的图形和非晶态的金属氧化物半导体薄膜的基板进行诱导晶化退火，在晶化诱导层的诱导下，使非晶态的金属氧化物半导体薄膜转变为结晶态的金属氧化物半导体薄膜，以形成由结晶态的金属氧化物半导体薄膜构成的有源层。本发明在提高金属氧化物薄膜晶体管的载流子迁移率和工艺集成度的同时，降低了生产成本。

今年以来龙腾光电新获得专利授权127个，较去年同期减少了14.19%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。

数据来源：天眼查APP

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