华海清科获得实用新型专利授权：“一种抛光头和化学机械抛光装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种抛光头和化学机械抛光装置”，专利申请号为CN202323199508.2，授权日为2024年8月20日。

专利摘要：本实用新型公开了一种抛光头和化学机械抛光装置，所述抛光头包括：枢轴座；承载盘，活动连接于枢轴座下方；弹性膜，设置于承载盘下方，用于装载待抛光晶圆；保持环，固定于承载盘下方并位于弹性膜的外周侧；平衡组件，包括枢轴和平衡架，所述枢轴滑动连接于枢轴座的竖向孔，所述平衡架同心设置于承载盘且其球面铰接于枢轴的下部，以适应性调节承载盘的位姿。

今年以来华海清科新获得专利授权25个，较去年同期减少了67.11%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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