证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基板后处理装置”,专利申请号为CN202111231889.0,授权日为2024年8月20日。
专利摘要:本发明公开了一种基板后处理装置,其包括设置基板后处理模块的槽体,所述槽体的底板通过调节组件固定于基座;所述调节组件包括第一连接板,所述底板通过第一连接板设置于基座的上侧;所述第一连接板的端部设置有竖向贯通的螺纹孔,所述螺纹孔的内部配置有调节螺母;所述调节螺母能够抵接所述基座使得第一连接板与基座分离,以在两者之间的间隙放置垫片实现槽体水平度的调节。
今年以来华海清科新获得专利授权25个,较去年同期减少了67.11%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元,同比增23.19%。
数据来源:天眼查APP
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