证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长飞光纤(601869)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种具有稳定气流场的沉积腔”,专利申请号为CN202310131847.2,授权日为2024年8月20日。
专利摘要:本发明涉及一种具有稳定气流场的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的抽风腔位于喷灯的前面一侧,抽风腔的前面与沉积腔相贯通,抽风腔的后面联接上下分隔的子抽风腔,每个子抽风腔的出风口处串接风量调节阀,用于对抽出气体流量的调节,所述的子抽风腔的出风口与抽风管道相连通。本发明有利于气流场的均匀顺畅,减少紊流,使沉积区域气流场趋于稳定,同时通过调节不同沉积区域抽风流量促进温度场的均匀,及时抽走粉尘,从而有效提高OVD工艺的沉积质量。
今年以来长飞光纤新获得专利授权85个,较去年同期减少了21.3%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7.75亿元,同比减1.13%。
数据来源:天眼查APP
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