证券之星消息,根据天眼查APP数据显示长飞光纤(601869)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于外部气相沉积法的沉积腔”,专利申请号为CN202310139596.2,授权日为2024年8月20日。
专利摘要:本发明涉及一种用于外部气相沉积法的沉积腔,包括有沉积腔体,沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔体的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的进风腔位于喷灯背面一侧,进风腔的前面与沉积腔相贯通,进风腔的后面联接上下分隔的子进风腔,每个子进风腔的进风口处设置加热装置,用于对进入气体的加温。本发明能够对送入沉积腔体中不同区域的气体温度进行调控,可使整个沉积腔尤其是粉棒沉积区域的上下温度分布更为均匀和一致,从而有效提高OVD工艺的沉积质量。安设尾气回收管道使得部分尾气回收至气体过滤腔,实现节能节气的效果。
今年以来长飞光纤新获得专利授权85个,较去年同期减少了21.3%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7.75亿元,同比减1.13%。
数据来源:天眼查APP
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