帝尔激光获得发明专利授权：“一种沟槽加工方法及转印基板”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示帝尔激光（300776）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种沟槽加工方法及转印基板”，专利申请号为CN202210039124.5，授权日为2024年8月9日。

专利摘要：本申请公开了一种沟槽加工方法，该方法包括：提供一激光束，根据拟加工沟槽在深度方向的槽宽分布调整激光束的聚焦线的焦深长度和/或焦点位置，使其在待加工器件内部形成的聚焦线具有与槽宽分布对应的能量分布；通过激光束对待加工器件的内部进行改质，形成与拟加工沟槽对应的改质区；改质区包括沿拟加工沟槽长度方向分布的多个间隔设置的改质线，每条改质线在深度方向上的改性程度与槽宽正相关；将改质后的待加工器件置于腐蚀液中，对改质区进行刻蚀形成槽体；本发明通过设置不同激光参数及改性条件，可得到U型槽、矩形槽、梯形槽等不同槽型，所加工的沟槽底部平滑，尺寸可控且加工制作成本较低，满足不同产品的加工需求。

今年以来帝尔激光新获得专利授权49个，较去年同期增加了133.33%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.51亿元，同比增91.65%。

数据来源：天眼查APP

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