证券之星消息,根据企查查数据显示鼎龙股份(300054)新获得一项发明专利授权,专利名为“抗蚀剂组合物及其应用”,专利申请号为CN202311450113.7,授权日为2024年8月6日。
专利摘要:本发明公开了一种抗蚀剂组合物,包括在酸的作用下在碱性显影液中溶解度发生变化的成膜树脂(A)、曝光时产生酸的产酸剂成分(B)、以及酸扩散抑制剂(D)。本发明提供在正型抗蚀剂材料和负型抗蚀剂材料中都为高灵敏度的抗蚀剂组合物以及使用其的图案形成方法。本发明的树脂(A)包括具有如下通式(a?1)所示的结构单元。
今年以来鼎龙股份新获得专利授权11个,较去年同期增加了83.33%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了3.8亿元,同比增20.2%。
数据来源:企查查
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