中科飞测获得实用新型专利授权：“一种检测装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种检测装置”，专利申请号为CN202323039558.4，授权日为2024年8月6日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种检测装置，用于通过设置线型光源与待检测对象之间的入射角，提升小尺寸缺陷的相对亮度，从而提升小尺寸缺陷的检测信噪比。本实用新型实施例中检测装置，包括：至少一个检测模块，检测模块包括线型光源，线型光源的出射光线与待检测对象的法线之间成第一角度，第一角度包括60°至90°，待检测对象的表面设置有多条平行的横向切割线和多条平行的纵向切割线，线型光源的出射主光线在待检测对象平面的投影与目标切割线成第二角度，第二角度包括30°至60°，目标切割线为横向切割线或纵向切割线中的任一条切割线；当线型光源的出射光线照射待检测对象时，检测装置中的成像装置根据待检测对象的散射信息对待检测对象表面的缺陷进行检测。

今年以来中科飞测新获得专利授权87个，较去年同期增加了16%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.28亿元，同比增10.93%。

数据来源：企查查

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