中科飞测获得发明专利授权：“一种套刻标记及对准误差的测量方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种套刻标记及对准误差的测量方法”，专利申请号为CN202010614218.1，授权日为2024年8月6日。

专利摘要：本申请公开了一种套刻标记及对准误差的测量方法。套刻标记位于基底中，包括第一标识和第二标识；第一标识和第二标识分别位于基底不同的层，和/或，第一标识和第二标识在不同工艺过程中形成。第一标识和第二标识均包含特征结构，特征结构具有特征点。第一标识与第二标识的投影平面为基底的表面，在特征点处沿任一方向，特征结构具有不连续性。第一标识的特征点的信息和第二标识的特征点的信息用于进行对准误差测量。由于特征点不易受到光照不均匀性的影响以及旋转、平移和膨胀等操作的影响，因此以第一标识的特征点的信息和第二标识的特征点的信息进行对准误差测量，测量结果的稳定性较强。

今年以来中科飞测新获得专利授权87个，较去年同期增加了16%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.28亿元，同比增10.93%。

数据来源：企查查

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