天准科技获得实用新型专利授权：“一种自带圆周定位的载台装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示天准科技（688003）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种自带圆周定位的载台装置”，专利申请号为CN202322854107.X，授权日为2024年7月30日。

专利摘要：本实用新型提供了一种自带圆周定位的载台装置，属于半导体晶圆用载物台领域，载台装置包括载台底座、载台底脚、载台上座、载台主轴和晶圆载盘，载台装置还包括一个圆周定位模块；其中，载台底脚采用气浮地脚；载台底座通过多个载台底脚被浮动地支撑；载台上座设置在载台底座上；载台主轴竖直的设置在载台底座和载台上座开设的承载孔中，载台主轴的顶部固定连接至晶圆载盘的底面中部，用于对晶圆载盘的驱动；圆周定位模块设置在载台上座和晶圆载盘之间，用于对晶圆载盘上气浮支撑的晶圆从外周进行定位；定位稳定性易于保证，提高了整体的效率。

今年以来天准科技新获得专利授权22个，较去年同期减少了74.12%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.31亿元，同比减4.68%。

数据来源：企查查

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