微导纳米获得发明专利授权：“一种真空镀膜工艺腔及具有其的真空悬浮镀膜机”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种真空镀膜工艺腔及具有其的真空悬浮镀膜机”，专利申请号为CN202010400910.4，授权日为2024年7月26日。

专利摘要：本发明提供了一种真空镀膜工艺腔，包括腔盖、腔壁和腔底板，还包括喷淋系统和加热吹托系统；所述喷淋系统包括成份进道、导流板和喷淋板，所述导流板设置在喷淋板上部，所述导流板中设置导流槽，所述成份进道固定在所述导流板的左、右两端；所述加热吹托系统包括加热板和吹气板，所述加热板提高工艺腔内环境的温度，所述吹气板向薄膜基带的底部吹出惰性气体托起薄膜基带。本发明还提供了一种真空悬浮镀膜机，包括前述的真空镀膜工艺腔，还包括放卷腔、放卷过渡腔、收卷过渡腔和收卷腔。本发明本采用了一种真空悬浮技术，降低了原本真空镀膜工艺腔中对托辊加工、安装、调校精度要求，另一方面也保证了薄膜运行和镀膜工艺的稳定性。

今年以来微导纳米新获得专利授权34个，较去年同期增加了466.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。

数据来源：企查查

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