鼎龙股份获得发明专利授权：“抗蚀剂组合物及图案形成方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示鼎龙股份（300054）新获得一项发明专利授权，专利名为“抗蚀剂组合物及图案形成方法”，专利申请号为CN202311450046.9，授权日为2024年7月26日。

专利摘要：本发明提供一种抗蚀剂组合物，包含经由酸作用而对显影液的溶解性产生变化的主体树脂(A)以及经由曝光而产生酸的光产酸剂(B)；所述主体树脂(A)包含具有通式(1)所示的结构单元的树脂结构，其中，通式(1)中R1表示氢原子或碳原子数为1～4的烃基；X表示直接键合，或碳原子数为1～8的亚烷基；通过合成了一种新型(甲基)丙烯酸酯单体，从而使得该抗蚀剂组合物的LWR等关键参数表现优异，可形成良好的矩形细微图案。

今年以来鼎龙股份新获得专利授权10个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了3.8亿元，同比增20.2%。

数据来源：企查查

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