芯碁微装获得发明专利授权：“一种用于直写光刻机曝光工序的纠偏对位方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于直写光刻机曝光工序的纠偏对位方法”，专利申请号为CN202210158742.1，授权日为2024年7月26日。

专利摘要：本发明涉及直写光刻机领域，公开了一种用于直写光刻机的纠偏对位方法，可以降低贴片精度的方式提高产能，通过介质层对芯片贴片时产生的偏移量进行纠偏，一方面对芯片贴片精度的要求更宽，同时不影响生产良率，确保芯片功能正常，另一方面可解决高精度贴片机产能的问题。

今年以来芯碁微装新获得专利授权25个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了9454.06万元，同比增11.56%。

数据来源：企查查

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