证券之星消息,根据企查查数据显示芯碁微装(688630)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种手持式晶圆夹具”,专利申请号为CN202322864455.5,授权日为2024年7月26日。
专利摘要:本实用新型提供一种手持式晶圆夹具,其特征在于,加工晶圆放置在所述第一、第二挤压板与所述夹持斜台之间,第一挤压支撑件和第二挤压支撑件靠近所述晶圆,带动第一挤压板、第二挤压板挤压所述晶圆,夹持斜台提供给所述晶圆向上的支持力,同时分离长杆靠近所述晶圆,形成在所述分离长杆端面的斜面和分离斜台斜面相对滑动,带动第一夹持环和第二夹持环分离,晶圆被曝光机卡盘完全吸附。
今年以来芯碁微装新获得专利授权25个,较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了9454.06万元,同比增11.56%。
数据来源:企查查
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