芯联集成获得发明专利授权：“垂直腔面发射激光器及其制作方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“垂直腔面发射激光器及其制作方法”，专利申请号为CN202210729957.4，授权日为2024年7月26日。

专利摘要：本发明提供了一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，所述制作方法包括：提供一衬底，衬底的正面上依次形成有N型DBR层、有源层、P型DBR层、第一镓砷层、第一高阻层以及第二镓砷层，第一高阻层的材料包含AlxGa1?xAsOySizCh；在第二镓砷层与第一高阻层内形成光栅孔与出光孔，在第二镓砷层与第一高阻层两侧形成上电极；形成ITO层以及背电极。本发明通过所述第一高阻层以及所述第一高阻层内形成的光栅孔与出光孔限制载流子的移动方向，从而无需生长氧化层，以此消除由于氧化层的生长以及存在造成的各种缺陷，从而提高了器件的性能。

今年以来芯联集成新获得专利授权52个，较去年同期增加了36.84%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

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