士兰微获得发明专利授权：“MEMS器件及其制造方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制造方法”，专利申请号为CN201811641765.8，授权日为2024年7月19日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS器件及其制造方法。该制造方法包括：形成CMOS电路；以及在CMOS电路上形成MEMS模块，CMOS电路与MEMS模块连接，用于驱动MEMS模块，其中，形成MEMS模块的步骤包括：形成保护层；在保护层中形成牺牲层；在保护层与牺牲层上形成第一电极，并形成第一电极与CMOS电路之间的电连接，第一电极覆盖牺牲层；在第一电极上形成压电层，压电层与牺牲层的位置对应；在压电层上形成第二电极，并形成第二电极与CMOS电路之间的电连接；在第一电极上或保护层形成到达牺牲层的通孔；以及经由通孔除去牺牲层形成空腔。该方法制造的MEMS器件灵敏度高同时又显著降低制造成本和改善工艺兼容性。

今年以来士兰微新获得专利授权43个，较去年同期减少了18.87%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.64亿元，同比增21.47%。

数据来源：企查查

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