士兰微获得发明专利授权：“MEMS结构及其制造方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS结构及其制造方法”，专利申请号为CN201811625593.5，授权日为2024年7月19日。

专利摘要：本申请公开了MEMS结构及其制造方法。所述方法包括：在半导体衬底中形成空腔；在所述空腔上形成敏感膜片；以及在所述敏感膜片中形成多个敏感电阻；其中，所述敏感膜片包括岛状部以及围绕所述岛状部的连接部，所述岛状部的厚度大于所述连接部的厚度，并且所述多个敏感电阻位于所述连接部。该方法采用不均匀厚度的敏感膜片，使得压力集中于连接部以提高灵敏度。

今年以来士兰微新获得专利授权39个，较去年同期减少了25%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.64亿元，同比增21.47%。

数据来源：企查查

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