士兰微获得发明专利授权：“MEMS结构及其制造方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS结构及其制造方法”，专利申请号为CN201811625626.6，授权日为2024年7月16日。

专利摘要：本申请公开了MEMS结构及其制造方法。所述方法包括：在半导体衬底中形成空腔；在所述半导体衬底的第一表面形成封闭所述空腔的敏感膜片；在所述空腔的内壁形成停止层；在所述半导体衬底的第二表面形成到达所述停止层的通道，所述第二表面与所述第一表面彼此相对；以及经由所述通道去除所述停止层。该方法在空腔内壁形成停止层，用于形成外部环境连通的通道，从而可以形成单芯片结构的压力传感器。

今年以来士兰微新获得专利授权37个，较去年同期减少了19.57%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.64亿元，同比增21.47%。

数据来源：企查查

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