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京仪装备获得发明专利授权:“半导体生产用温控设备”

来源:证券之星企业动态 2024-07-17 02:25:11
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证券之星消息,根据企查查数据显示京仪装备(688652)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体生产用温控设备”,专利申请号为CN201710434627.1,授权日为2024年7月16日。

专利摘要:本公开涉及一种半导体生产用温控设备,用于控制负载设备的温度,所述温控设备包括制冷系统、预冷器和循环水泵,所述预冷器串联在第一厂务水支路上,所述制冷系统包括串联成冷却液回路的压缩机、冷凝器、电子膨胀阀和蒸发器,所述蒸发器还与所述预冷器、所述循环水泵、所述负载设备串联形成循环液回路,且所述预冷器位于所述蒸发器的上游。在本公开中的温控设备中,循环液进入温控设备后,首先通过预冷器与温度较低的厂务水进行换热,利用低温的厂务水来预冷循环液,然后再通过制冷系统进一步冷却循环液。以此方式,能够降低制冷系统的负载量,降低温控设备的输入功率,达到节能效果。

今年以来京仪装备新获得专利授权37个,较去年同期增加了32.14%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了6151.18万元,同比增27.07%。

数据来源:企查查

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