万业企业： 离子注入机系统复杂度高，研发难度仅次于光刻机，而且工艺验证十分困难

证券之星消息，万业企业(600641)07月16日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：离子注入设备目前属于国产壁垒很高的一款前道设备，想问下公司是如何看待自身产品的定位呢？

万业企业董秘：尊敬的投资者，您好。离子注入机系统复杂度高，研发难度仅次于光刻机，而且工艺验证十分困难。凯世通团队基于在离子注入机领域的技术积累，通过上下游产业链的紧密合作，共进行了几百项的技术升级，包括硬件与软件各个方面，使设备性能得到大幅提升，满足了客户严苛的技术要求。目前凯世通凭借专业的产品实力、高效的服务优势，持续赢得客户的认可和重复订单。感谢您的关注。

投资者：请问董秘，公司目前的研发进展如何，有没有新产品面世？

万业企业董秘：尊敬的投资者，您好。为了实现公司产品核心竞争力的进一步提升，万业企业坚持加大研发的投入，截至2023年末达1.63亿元，同比增长超50%。目前，公司旗下凯世通已经形成了一系列具有自主知识产权的核心技术，解决了芯片实际生产过程中面临的极低能量大剂量注入、高角度均匀性、颗粒污染控制、低能量注入能量污染、设备高产能等方面的技术挑战。与此同时，凯世通的低能大束流离子注入机系列设备在国内多家重点12英寸晶圆厂担任离子注入工艺的主力机型，收获了多家重点客户的批量重复订单，覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域。凯世通还高度重视碳化硅等宽禁带半导体产业的发展机遇，基于已有的技术积累，研发了面向碳化硅的高温离子注入机，计划今年年内搬入客户端验证。现阶段公司正在积极推进全系列离子注入机的产业化，包括SOI氢离子注入机、6/8吋SiC高温离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备。感谢您的关注。

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