证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“喷嘴安装治具”,专利申请号为CN202323068354.3,授权日为2024年7月12日。
专利摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种喷嘴安装治具,包括:基体;所述基体上设置有与炉管内壁形状适配的装配面;所述基体上设置有至少两个平行的定位腔,所述定位腔用于容纳喷嘴。本实用新型中,在基体上设置有至少两个平行的定位腔,且基体上设置有用于与炉管内壁贴合的装配面,当基体贴合在炉管内壁时,可通过定位腔分别对喷嘴定位,保证位于定位腔内的喷嘴相互平行,利于提高喷嘴的安装效率和安装精度,进而保证经过喷嘴通入路管内的气体均匀分布。
今年以来芯联集成新获得专利授权49个,较去年同期增加了44.12%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。
数据来源:企查查
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