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芯联集成获得实用新型专利授权:“离子源运输装置”

来源:证券之星企业动态 2024-07-13 02:26:06
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证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“离子源运输装置”,专利申请号为CN202420183599.6,授权日为2024年7月12日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种离子源运输装置,包括:输送主体、固定组件和行走轮;所述输送主体上具有用于支撑输送罐的支撑部,所述支撑部上设有避让槽;所述固定组件设置于所述支撑部用于固定输送罐;所述行走轮设置于所述输送主体。该装置可替代人工输送离子源,一方面可释放人力,减小人力劳动,另一方面可消除人工搬运过程中离子源掉落损坏的风险,而且也可保证坩埚的输送姿态,防止于坩埚喷嘴堵塞。

今年以来芯联集成新获得专利授权49个,较去年同期增加了44.12%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。

数据来源:企查查

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