芯源微获得实用新型专利授权：“一种升降回转一体式轴机构”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种升降回转一体式轴机构”，专利申请号为CN202322970339.1，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本实用新型属于半导体晶圆加工设备技术领域，具体地说是一种升降回转一体式轴机构，包括底板、固定立板、中空直驱电机、滚珠花键螺母、空心花键轴及竖直驱动气缸，底板上安装有若干个固定立板，各固定立板的顶端分别与中空直驱电机连接并支撑中空直驱电机，竖直驱动气缸安装于其中一个固定立板上。本实用新型通过采用中空直驱电机连接并带动滚珠花键螺母转动，从而可精确带动顶部安装有负载的空心花键轴旋转指定角度，能够有效防止空心花键轴在运行中发生倾斜，且可由竖直驱动气缸通过拨叉结构带动空心花键轴升降，相对于采用同步带丝杠的升降结构更为简单，机构整体使用更为可靠，且有效减小占据空间。

今年以来芯源微新获得专利授权21个，较去年同期增加了10.53%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

数据来源：企查查

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