微导纳米获得实用新型专利授权：“颗粒捕捉装置及镀膜系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“颗粒捕捉装置及镀膜系统”，专利申请号为CN202322571775.1，授权日为2024年7月9日。

专利摘要：本申请涉及一种颗粒捕捉装置及镀膜系统，颗粒捕捉装置包括壳体、过滤组件及导流组件。壳体形成有安装腔、进气口及出气口，安装腔分为导流子腔和过滤子腔；导流组件设于导流子腔内，并构造有曲折延伸的导流通道，导流通道包括导入口和导出口，导入口与进气口连通，导出口与过滤子腔连通；及过滤组件位于导出口与出气口的导通路径上。在本申请实施例中，导流通道能够引导尾气的流动方向，并延长尾气在安装腔内的流通路径，以使得尾气能够在导流组件内充分反应并生成粉尘颗粒，进一步反应的尾气经导流通道的引导从导出口流出，在流经过滤组件以实现粉尘颗粒的过滤，从而降低粉尘颗粒进入真空泵中的几率，延长真空泵的使用寿命。

今年以来微导纳米新获得专利授权32个，较去年同期增加了433.33%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。

数据来源：企查查

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