龙腾光电获得实用新型专利授权：“一种光罩检查机构及光罩清洁设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种光罩检查机构及光罩清洁设备”，专利申请号为CN202323321365.8，授权日为2024年6月21日。

专利摘要：本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种光罩检查机构及光罩清洁设备。光罩检查机构包括风机组件、制冷风道和制热风道，制冷风道和制热风道均与风机组件相连通，风机组件用于向制冷风道和制热风道内吹入空气，制冷风道被配置为对吹入的空气降温，制热风道被配置为对吹入的空气加热，并且制冷风道和制热风道用于同时向光罩的表面吹气，以使光罩的表面产生雾气，从而检查光罩的表面是否存在印记，降低了对光罩的检测难度，提高了对光罩的检查效率，也保证了产品的良率。此外，通过冷热空气相遇产生雾气，避免了光罩的表面残留水渍，保证了光罩的正常使用。光罩清洁设备通过应用上述光罩检查机构，提高了工作效率，也保证了产品的良率。

今年以来龙腾光电新获得专利授权109个，较去年同期减少了5.22%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。

数据来源：企查查

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