芯联集成获得实用新型专利授权：“一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备”，专利申请号为CN202322536728.3，授权日为2024年6月21日。

专利摘要：本实用新型提供了一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备，该雾化装置包括：第一接口，用于通入携带有液态除水介质的常温气体；第二接口，用于通入高温气体；雾化腔室，分别连接所述第一接口与所述第二接口，用于混合所述高温气体和所述液态除水介质，以将所述液态除水介质蒸发为气态除水介质；第三接口，与所述雾化腔室连接，用于释放所述气态除水介质。本实用新型的用于晶圆干燥的雾化装置，能够在雾化腔室内将高温气体与液态除水介质进行混合，以将液态除水介质蒸发为气态除水介质，进而改善除水介质的雾化效果。

今年以来芯联集成新获得专利授权47个，较去年同期增加了42.42%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

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