证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS驱动器件及其形成方法”，专利申请号为CN202110485548.X，授权日为2024年7月5日。
专利摘要：本发明提供了一种MEMS驱动器件及其形成方法。通过在第一衬底或第二衬底上设置固定件，以用于在刻蚀形成可动梳齿结构的过程中，固定微机械结构进而限制可动梳齿结构中的各个梳齿发生扭转，改善梳齿侧壁受到刻蚀损伤的问题。并且，在第一衬底上对应于微机械结构还设置有止挡件，该止挡件可用于限制微机械结构的最大扭转角度，以防止在外力冲击下微机械结构发生断裂的问题。
今年以来芯联集成新获得专利授权47个，较去年同期增加了42.42%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。
数据来源：企查查
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