晶盛机电获得实用新型专利授权：“晶棒上料装置及磨削设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶棒上料装置及磨削设备”，专利申请号为CN202322862166.1，授权日为2024年7月5日。

专利摘要：本实用新型提供了一种晶棒上料装置及磨削设备，属于晶硅加工技术领域，解决了现有技术硅棒磨削量较大的问题。本实用新型包括底座；夹持组件，所述夹持组件设置于所述底座上，用于夹持晶棒；检测组件，所述检测组件设置于所述底座或夹持组件上，用于检测晶棒轴向的倾斜度；以及升降组件，所述升降组件设置于所述夹持组件一侧，所述升降组件包括至少两个驱动机构，至少两个所述驱动机构共同作用于所述晶棒，以带动所述晶棒在z轴方向升降和摆动。本实用新型通过设置检测组件可以检测得到晶棒轴向的倾斜度，并根据倾斜度信息，升降组件带动晶棒升降的同时，摆动以调整晶棒的倾斜度，使得磨削加工时，晶棒轴向各个位置具有相对应的磨削余量。

今年以来晶盛机电新获得专利授权81个，较去年同期增加了6.58%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了11.45亿元，同比增43.83%。

数据来源：企查查

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