上海合晶获得实用新型专利授权：“一种CVD晶舟的抽气装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示上海合晶（688584）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种CVD晶舟的抽气装置”，专利申请号为CN202323143816.3，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本实用新型公开了一种CVD晶舟的抽气装置，包括抽气室，所述抽气室的顶部贯穿有进气管，所述抽气室的内腔通过螺丝固定有隔板，所述隔板与抽气室的顶部之间形成混合室，所述混合室的一侧连通有回流管；本实用新型通过设置均流板、气缸和回流管，使两种气体通入混合室后，快速启动气缸，使均流板上下移动加速混合气体的混合均匀性，混合后的气体再通过启动驱动电机，使封闭板转动，封闭板的均流孔与隔板的均流孔对齐，使混合气体排入抽气室底部，与晶舟内的半导体、金属加工件接触，进行沉积镀膜，该装置的设置，能够在两个气体通入抽气室后，快速辅助混合再排入沉积腔内进行沉积，能够提高沉积的均匀性。

今年以来上海合晶新获得专利授权4个。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比减7.05%。

数据来源：企查查

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