汇成股份获得发明专利授权：“一种晶圆用自动退膜机”

证券之星消息，根据企查查数据显示汇成股份（688403）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆用自动退膜机”，专利申请号为CN202110125297.4，授权日为2024年7月2日。

专利摘要：本发明公开了半导体制造领域内的一种晶圆用自动退膜机，包括固定铁环，固定铁环上设置有用于固定晶圆的的蓝膜，还包括设置在机架上的基座，基座上设置有用于支撑固定铁环的支撑架，所述支撑架包括两块相互平行的侧支撑板，两块侧支撑板的前部之间设置有前支撑板，所述基座上位于支撑架的前侧相对应地设置有放料架，放料架上可转动地设置有放料辊，放料辊上卷绕有若干卷保护膜，所述基座的左右两侧分别设置有一组用于压紧固定铁环左侧边和右侧边的压紧机构，所述支撑架的上方分别对应设置有退膜机构和切割机构，所述基座上对应放料辊设置有放料机构。本发明能够自动完成退膜工序，将蓝膜从固定铁环上剥离，同时将固定铁环回收。

今年以来汇成股份新获得专利授权8个，较去年同期减少了27.27%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7885.72万元，同比增21.06%。

数据来源：企查查

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